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技术参数 TECHNOLGY PARAMETERS■ 气体纯度：≤99.9995%■ 露点：≤-60℃技术特点 TECHNOLGY FEATURES若用户所需氮气纯度大于99.99%时，在SCM制氮系统的基础上应配置纯化设备。被系列产品采用碳脱氧催化剂，不需消耗氢气源，碳与氮气中的余氧反应生成二氧化碳，再采用变压吸附工艺出去二氧化碳和水，经过滤后得到高纯度氮气。高纯度氮气技术指标可达到02≤3PPm，CO2≤4PPm,露点≤-60℃
